混合比檢測(cè)（內(nèi)置）

檢測(cè)對(duì)象

C₄F₇N/CO₂/O₂、C₄F₇N/N₂/O₂、SF₆/N₂、SF₆/CF₄及CO₂/O₂等

檢測(cè)范圍

0～100%（mol/mol）

檢測(cè)精度

±0.3%（mol/mol）

分辨率

±0.01%（mol/mol）

壓縮機(jī)（無油）

出口壓力

≥3.0MPa

回收速度

≥24m³/h

真空泵

類型

雙級(jí)旋片式真空泵，且?guī)в蟹婪涤偷碾姶砰y。

抽真空流量

≥100m³/h

極限真空度

≤10Pa

配有數(shù)顯真空儀表以監(jiān)測(cè)真空度

真空壓縮機(jī)

回收速率

≥ 24m³/h

回收極限真空度

≤100Pa

配氣灌充

配氣濃度范圍

0～100%（mol/mol）

可選配氣氣體

C₄F₇N/CO₂/O₂、C₄F₇N/N₂/O₂、SF₆/N₂、SF₆/CF₄及CO₂/O₂等

配氣精度

±0.5%（mol/mol）

罐充壓力

≥ 1.5 MPa

充氣速度

≥ 15m³/h

回收/回充速率

≥24m3/h

回收終壓

≤100Pa

回充壓力

0～1.5MPa(可調(diào))